Distribuția a fost una de excepție: Charlton Heston, Roddie McDowall, Kim Hunter, Maurice Evans, James Whitmore, James Daly și Linda Harrison.
Filmările au avut loc între 21 mai și 10 august 1967, în California, Utah și Arizona. Costul final al filmului a fost de 5,8 milioane de dolari.
Planeta Maimuțelor a reprezentat o revoluție prin tehnicile sale de machiaj folosite de John Chambers. Costumele remarcabile și machiajul magistral, nemaivăzute până atunci la Hollywod, au reprezentat două dintre atu-urile care au făcut din film un mare succes.
Majoritatea rolurilor din film cereau eforturi deosebite, din cauza costumelor și machiajului care trebuiau suportate ore întregi în fiecare zi, la temperaturi ridicate.
În rolul lui Dr. Zaius, de exemplu, fusese distribuit inițial marele actor de origine română Edward G. Robinson, însă acesta, când a văzut la ce urma să fie supus, a renunțat.
